光學薄膜設備可以制備各種具備光學發生的膜層,如導電薄膜、太陽電池、減反射薄膜等,應用于電子、數碼、太陽能、玻璃、裝修等行業。
電腦自動化控制,界面設計簡易操作,超高再現性鍍膜,配置水晶傳感器膜厚計,自動化蒸鍍系統,實現參數錄入、過程監控及數據存儲等功能,強化生產管理,降低生產成本,可鍍制金屬、化合物、氧化物,膜層具有良好的光譜曲線穩定性,利用電子束蒸發源技術,裝配2套電子槍,產生高熱量使鍍材蒸發,高性能光學厚膜監控儀與計算機結合,實行智能控制,可達到超高精度的光學厚膜,加裝自動反面設計,可縮短蒸鍍作業時間,達到高效產能并減低生產成本,采用電氣控制模塊化組合,便于維護,工件架自動旋轉。
常見光學薄膜示意圖:
電容式觸摸屏
Low-E低輻射鍍膜玻璃
太陽能電池
真空室尺寸 | 直徑1300×高1300 | 直徑1650×高1650 | 直徑2000×高1650 |
真空機組 | KT800/分子泵+RTO600+2X70+2X-15 | 兩臺KT800/分子泵+RTO1200+兩臺2X70+2X-15 | 兩臺KT800/分子泵+RTO2400+兩臺2X70+2X-15 |
深冷裝置 | 溫度-135℃,抽速90000L/S,功率7.5KW | ||
真空性能 | 極限5×10-4Pa,抽速:大氣到5×10-3Pa小于10分鐘,升壓時間:1×10-3Pa到1×10-1Pa大于10分鐘 | ||
轉動夾具 | 球面或平面,5-20轉/立式公轉夾具 | 球面或平面,5-20轉/立式公轉夾具 | 球面或平面,5-20轉/立式公轉夾具 |
電子槍 | 單槍/電阻+磁控濺射 | 單槍/電阻+磁控濺射 | 單槍/電阻+磁控濺射 |
離子源 | 15A霍爾源一臺/矩形離子源 | 15A霍爾源一臺/矩形離子源 | 15A霍爾源兩臺/矩形離子源 |
晶體膜厚儀 | SQC-310(全中文操作界面) | SQC-310(全中文操作界面) | SQC-310(全中文操作界面) |
寬光譜監控 | 400-800nm多片反射 | 400-800nm多片反射 | 400-800nm多片反射 |
導電薄膜、太陽電池、減反射薄膜等,應用于電子、數碼、太陽能、玻璃、裝修等行業
環境能源方面:
太陽電池
建材等
電子顯示:
液晶顯示器的鏡頭和光部品
液晶
有機EL
光通信行業方面:
DWDM濾光片
半導體行業方面:半導體等產業設備鏡頭?光部品
激光器
光開關
記錄介質方面:
DVD、CDRW、CDR、CD等光磁盤的光部品
生物、醫療行業方面:
液晶放映機的鏡頭和光部品
液晶
有機EL
消費品方面:
照相機
數碼照相機
錄像機的鏡頭和光部品
攜帶電話液晶部分
攜帶電話數碼相機
汽車關聯鏡面
鏡頭
望遠鏡
光學設備鏡頭
傳真機
打印機