進口分子泵
產品簡介
多軸磁力軸承系統用于在運行期間懸起轉子，確保無污染的風險，同時將振動、噪音以及維護需求降至最低，該分子泵可與各種先進的控制器全面連接，從而可用于多種應用和制程中，經過實踐檢驗的可靠性和一流的性能可以實現最大的制程靈活性。?
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多軸磁力軸承系統用于在運行期間懸起轉子，確保無污染的風險，同時將振動、噪音以及維護需求降至最低，該分子泵可與各種先進的控制器全面連接，從而可用于多種應用和制程中，經過實踐檢驗的可靠性和一流的性能可以實現最大的制程靈活性。
功能和優勢：
先進的轉子技術
• 最大的制程靈活性
• 無油
• 低振動
• 高度可靠
• 免維護
先進的控制器設計
• 自動調整
• 自行診斷功能
• 直流電機驅動
• 無電池運行
緊湊型設計
• 占地面積小
• 半機架控制器
| 入口法蘭 | ISO100，CF100 |
| 出口 | KF25 |
| 抽速 | |
| N2 | 300 ls-1 |
| H2 | 300 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >2 x 104 |
| 加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭） | 6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr) |
| 加熱時的極限壓力（ICF 法蘭） | 10-8 Pa (10-10 Torr) |
| 最大允許進氣口壓力（環境空氣冷卻） | 0.066 Pa (5 x 10-4 Torr) |
| 最大連續出口壓力（環境空氣冷卻） | 13 Pa (0.1 Torr) |
| 額定速度 | 48000 rpm |
| 啟動時間 | 3 min |
| 最高入口法蘭溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 100 至 120 (± 10%) V 交流或 |
| 200 至 240 (± 10%) V 交流 | |
| 啟動時的功耗 | 0.55 kVA |
| 泵重量 | 11 kg |
| 控制器重量 | 7 kg |
金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）；電子回旋共振 (ECR) 刻蝕 ；薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD ；濺射 ；離子注入源，射束線泵送端點站 ；MBE ；擴散 ；光致抗蝕劑脫模 ；晶體/晶膜生長 ；晶片檢查 ；負載鎖真空腔； 科學儀器：表面分析、質譜分析、電子顯微鏡； 高能物理：射束線、加速器 ；放射線應用：融合系統、回旋
