批次式真空客制腔體
產品簡介
批次式(Batch type)設備的腔體形狀及尺寸不一，例如要求冷卻效果而設計的雙層腔體，為了提升產能而設計的雙門腔體，其他如真空度要求、成膜方式、制程氣體種類及基板材質等都會影響真空腔體的設計，穗誠真空設備可以配合客戶需求并提供相關參考經驗達到真空腔體設計的最佳化。
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批次式(Batch type)設備的腔體形狀及尺寸不一，例如要求冷卻效果而設計的雙層腔體，為了提升產能而設計的雙門腔體，其他如真空度要求、成膜方式、制程氣體種類及基板材質等都會影響真空腔體的設計，匯成真空設備可以配合客戶需求并提供相關參考經驗達到真空腔體設計的最佳化。
匯成真空設備制造的Batch type Chambers應用在：液晶注入機、車燈鍍膜機、刀具鍍膜設備、矽晶長晶設備、電漿清洗設備、真空排氣系統、晶圓檢測設備、軟板制程傳輸設備、卷繞式鍍膜機、真空加熱設備及薄膜太陽能電池鍍膜設備。
優勢：
1. 真空零件制造經驗豐富，各種規格真空零件庫存齊全可供腔體制造時使用
2. 加工能力及場地完整，廠內即可完成板料切割、機械加工、焊接、清洗、組裝及測漏等工程
3. 使用先進3D設計軟體，方便與客戶溝通及現場加工
4. 公司有真空Pump維修團隊，可提供備份Pump得以迅速完成大型真空腔體的抽氣及測漏作業
