PACVD硬質涂層系統
產品簡介
專門針對在廣泛的基材上進行功能性和裝飾性類金剛石（DLC）涂層的沉積而設計的工業涂層系統，PVD濺射和PACVD工藝相結合，可以拓寬DLC的應用范圍，根據客戶的應用要求量身定做涂層類型。
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PACVD硬質涂層系統提供成套現成操作，一整套標準配方，允許沉積標準的碳基涂層（DLC），純粹的a-C:H沉積需不要夾層取決于應用的化學和機械的要求，單一或多層的沉積加上碳基頂層，在經過挑選的基材上進行DLC涂層沉積，包括各種鋼材碳化物，輕金屬，陶瓷和塑料類等材質。
PACVD硬質涂層系統的特點：
? 2個等離子激發源（射頻，直/直流脈沖）
? 安裝在兩邊的2閉合場非平衡磁控管濺射
? 帶有一個前門的六角形真空室，保證一個潔凈的環境
? 干式真空系統設計安裝在一個單獨的空間，處理高吞吐量的碳氫化合物和其他工藝氣體
? 基材和導電與非導電涂層及組合高效原位清洗的離子激發系統
? 可選擇的等離子體激發模式和頻率使等離子的密度和能量適應基材增壓特性，以最小壓強進行電離作用
? 百葉窗減少在PACVD進程的磁控管靶材中毒
? 單獨的PACVD工藝中不強制轉動的時候，一種行星式轉動也能夠使濺射涂層統一沉積
? 特別是在PACVD過程特殊設計的進氣系統能夠優化涂層的均勻性和清潔度
? 泵的選擇編排和上下的蒸汽壓力調節，保證了涂層系統的高可靠性
? iFIX基礎的控制系統，易于批次、配方和報警處理
? 所有數據的采集，保證最佳的過程控制。工藝過程中定制曲線圖做到最佳檢查方案。在批次運行過程中，操作者也可復制更改或新建工藝
? 用戶可自行設置進入控制系統的權限，以保證系統的質量和安全性
| 靶材材料 | Ti, Cr, (Zr) single plates |
| 涂層 | a-C:H, a-Si:C:H |
| 氮化物 | (TiN, Cr, (ZrN)) |
| 碳氮化物 | (TiCrN, CrCN) |
| Combinations of Nitrides, Carbo-nitrides and DLC | |
| 可用等離子區域 | PACVD: Ø 900 × H 700 mm |
| PVD/PACVD: Ø 600 × 500mm | |
| 氣體 | Ar, H2, N2, C2H2, Si-Precursor |
| 承載 | 200 kg |
| HCDLC-380 | 有效空間 | 應用技術 | 靶材 |
| Ø400x H450mm | CMARC | 2pcs×3 | |
| 生產周期 | 標準涂層 | 可選涂層 | |
| 3-5小時/爐 | TiN，CrN，AlTiN，AlCrN | TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN | |
| 硬件 | 軟件 | 產量/爐 | |
| 磁懸浮分子泵 等離子清洗 氣體刻蝕 |
工業可編程系統 工業PC系統 專家遠程診斷系統 |
洗刀 D4×50mm=864 D10×75mm=264 刀片 D18×5mm=1440 滾刀 D80×80mm=15 |
|
| HCDLC-600 | 有效空間 | 應用技術 | 靶材 |
| Ø600 x H500mm | CMARC | 2pcs×3 | |
| 生產周期 | 標準涂層 | 可選涂層 | |
| 4-6小時/爐 | TiN，CrN，AlTiN，AlCrN | TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN | |
| 硬件 | 軟件 | 產量/爐 | |
| 磁懸浮分子泵 脈沖偏壓 HCD等離子刻蝕 |
工業可編程系統 工業PC系統 專家遠程診斷系統 |
洗刀 D4×50mm=1920 D10×75mm=512 刀片 D18×5mm=3276 滾刀 D80×80mm=40 |
|
| HCDLC-650 | 有效空間 | 應用技術 | 靶材 |
| Ø650 x H750mm | CMARC | 4pcs×3 | |
| 生產周期 | 標準涂層 | 可選涂層 | |
| 3-6小時/爐 | TiN，CrN，AlTiN，AlCrN | TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN | |
| 硬件 | 軟件 | 產量/爐 | |
| 磁懸浮分子泵 脈沖偏壓 等離子刻蝕 |
工業可編程系統 工業PC系統 專家遠程診斷系統 |
洗刀 D4×50mm=4032 D10×75mm=880 刀片 D18×5mm=6400 滾刀 D80×80mm=64 |
|
| HCDLC-900 | 有效空間 | 應用技術 | 靶材 |
| Ø900 x H1200mm | CMARC | 6pcs×3 | |
| 生產周期 | 標準涂層 | 可選涂層 | |
| 5-8小時/爐 | TiN，CrN，AlTiN，AlCrN | TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN | |
| 硬件 | 軟件 | 產量/爐 | |
| 磁懸浮分子泵 脈沖偏壓 等離子刻蝕 |
工業可編程系統 工業PC系統 專家遠程診斷系統 |
洗刀 D4×50mm=8640 D10×75mm=2200 刀片 D18×5mm=1200 滾刀 D80×80mm=140 |
| 涂層種類 | 涂層名稱 | 顏色 | 涂層成分 | 顯微硬度 | 最高使用溫度 | 摩擦系數 | 涂層厚度 |
| 氮化物陶瓷 | HAL | 黑色 | ALTiN | 3800 | 900 | 0.6 | 2.5±0.5 |
| HAL Plus | 黑色 | ALTiN | 3800 | 900 | 0.6 | 4±0.5 | |
| HAL Mini | 黑色 | ALTiN | 3500 | 900 | 0.6 | 1.5±0.5 | |
| HAL B | 紫黑 | ALTiN | 3600 | 900 | 0.6 | 2.5±0.5 | |
| HAR | 銀色 | CrN | 2000 | 700 | 0.3 | 3±0.5 | |
| HAT | 金黃 | TiN | 2400 | 600 | 0.5 | 3±0.5 | |
| HAS | 古銅 | AlTiSiN | 3800 | 1000 | 0.4 | 3±0.5 | |
| HATC | 灰色 | TICN | 3500 | 400 | 0.2 | 2±0.5 | |
| HATC Plus | 古銅 | TICN | 3200 | 400 | 0.25 | 2±0.5 | |
| HART | 金黃 | CrTiN | 2500 | 600 | 0.4 | 2.5±0.5 | |
| HRA | 藍灰 | AlCrN | 3500 | 1000 | 0.4 | 4±0.5 | |
| HRAT | 灰色 | AlTiCrN | 3200 | 900 | 0.4 | 3±0.5 | |
| DLC | HCC | 黑色 | CrN+W-C:H | 2200 | 300 | 0.2 | 2±0.5 |
| HCMC | 黑色 | Cr+W-C:H+DLC | 1800 | 300 | 0.1 | 2±0.5 |
| 涂層 名稱 |
低合 金鋼 |
高合 金鋼 |
不銹鋼 | 鑄鐵 | 銅 | 青銅 | 鋁合金Si<12% | 鋁合金Si>12% | 木材 | 塑料 | 鉆頭 | 鉆削 刀片 |
銑刀 | 銑削 刀片 |
車刀片 | 滾刀 | 插齒刀 | 滾插 刀片 |
絲錐 |
| HAL Plus | A- | A | A- | A | A | A | A- | A | A | A | A | ||||||||
| HAL Mini | A- | A | A | A | A- | ||||||||||||||
| HAL B | A- | A | A- | A | A- | A- | A | A- | A- | ||||||||||
| HAR | A | A | A | A | A- | ||||||||||||||
| HAT | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | |||||||
| HAS | A- | A- | A | A | A | A | |||||||||||||
| HATC | A | A | A- | ||||||||||||||||
| HATC Plus | A | A | A- | A | |||||||||||||||
| HART | A | A- | A- | A- | A- | A | A | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | ||||
| HRA | A- | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | ||||
| HRAT | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A | A | A | A | A | A | A | A | |
| HCC | A | A | A- | A | A | A | |||||||||||||
| HCMC | A | A | A- | A | A | A- | |||||||||||||
| A:非常實用現有的材料或者加工環境 | |||||||||||||||||||
| A-:亦可用在該材料和加工環境中 | |||||||||||||||||||
典型應用：
• 摩擦學應用
• 塑料加工
• 光學行業
• 半導體行業
• 汽車零部件
• 工程
• 賽車部件
