HCFLC系列卷繞鍍膜設備為各種各樣的柔性和可穿戴電子產品,傳感器,RFID標簽,智能玻璃,智能包裝等提供了一種非常有競爭力和成本效益高的薄膜涂層技術。高質量低電阻率銅或TCO層和結構的應用,在滿足當今和未來市場需求的同時,成功地彌合了生產率和多功能性之間的差距。
HCFLC系列是生產和研發的最佳選擇。幾乎無限的可能性,在安排多達六組可旋轉的旋轉器和機器的能力,應用大量的現場測量傳感器,使機器能夠在生產環境中生產,同時又是非常靈活和靈活的,當作為一個研發機器使用。
這也使得該機成為諸如ITO膜、柔性印刷電路板(FPCB)、LOW-E或智能玻璃等應用的首選??尚D磁控管,最大涂層寬度為2000毫米,可能的襯底輥直徑為500毫米,是高生產率的基礎。
此外,相鄰工藝段之間的可選氣體分離允許在一個過程中沉積各種各樣的金屬和電介質層。
除了能夠在非反應濺射工藝的同時運行反應濺射工藝外,HCFLC系列還可以配備各種原位傳感器,用于連續、準確地監測所需的物理層特性,如層電阻率、反射率或透射比。
特點:
l 卓越的生產力,高系統的通用性和靈活性:
–多達六組可旋轉磁控管,帶有直流、直流單極脈沖、直流雙極脈沖或中頻電源
–工藝段之間的氣體分離
–金屬和反應濺射
l 憑借智能機器理念,始終保持卓越的最終產品質量:
–最低粒子生成量(磁控管的濺射方向)
–易于維護和清潔
–無劃痕和起皺纏繞(閉環張力控制)
–等離子預處理(可選)
–溫控涂層輥筒(-15至+80°C)
–高真空泵用渦輪分子泵和冷阱
–原位層測量系統
l 由于智能和穩健的設計,易于維護和機器高正常運行時間。
l 由于設計緊湊,設施占地面積最小。
型號 |
HCFLC400 |
HCFLC650 |
HCFLC1650 |
HCFLC2000 |
寬幅 |
400mm |
650mm |
1650mm |
2000mm |
直徑(mm) |
Max.500 |
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卷繞速度 |
0.1–25.0 m/min |
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卷繞張力 |
25–600 N |
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基材 |
PET、PEN、PI、Al、SST、銅、柔性玻璃等 |
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涂層 |
銀、鋁、銅、鉻、鎳、鈦 |
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電介質 |
AZO, ITO, SiO2, SiN, SnO2, Nb2O5, TiO2 |
應用
–ITO薄膜
–柔性印刷電路板(FPCB)
–醫療傳感器
–固態鋰電池(SSLB)
–EC智能玻璃
–Low-E/太陽能控制膜