功能性薄膜涂層設備
產品簡介
該系統具有靈活的配置，可以與ARC、MS、HIPIMS等技術組合使用，為新涂層，新材料的開發提供更多的可能性。
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匯成在PMA I 專利技術的基礎上，開發出PMA II專利技術，并成功的將PMA II技術集成到新一代HCSH涂層系統上。該系統具有靈活的配置，可以與ARC、MS、HIPIMS等技術組合使用，為新涂層，新材料的開發提供更多的可能性。
真空鍍室的真空密封和室內運動部件的設計和用材，充分考慮可承受高溫，配置多只高效園形電弧蒸發源，或配多個矩形平面電弧蒸發源，也可配多只空心陰極槍，同時配置耐沖擊的、具有優異滅閃弧性能的偏壓電源，保證足夠等離子體密度和反應活性，提高膜層致密性和結合力。工件可三維運動，提高膜層均勻性。全自動控制提高工藝穩定性?？慑冎芓iN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多層超硬膜等。
廣泛應用于科研、半導體、工具、刀具、模具、零部件、醫療器械、光學、新能源等行業。